專業 負責 效率
致力於面向全球半導體業客戶提供優質 ESC / HEATER 解決方案
主要針對 AMAT / LAM / 客製化訂製生產及維修
台灣生產高溫加熱絲適用於
加熱器 / Heating Bellow 等產品
ESC OVERHAUL · BELLOW EXCHANGE · Dimple Re-Dep
主流設備產品銷售
AMAT - ENDURA2 PRODUCER ULTIMAX DPSII SYM3 OPUS AE_METAL
LAM - 9400 2300 (KIYO #EX #45 / FLEX #DX #ES #FS )
TEL - Vigus ( RK / LK ) SCCM DRM Terius
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2024-01-22
[ 韓國 ] - 2024 SEMICON LAM ESC 交流
禾悅科技前往韓國參加 SEMICON , 並前往合作夥伴現場進行技術交流
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2024-05-16
[ 韓國 ] - AIN Heater技术交流会
禾悅科技前往韓國合作夥伴工廠探討加熱器技術並進行交流
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2024-09-11
[ 韓國 ] - 加熱絲技術交流參訪
禾悅科技一行人前往韓國企業參訪並交流加熱絲預埋焊接技術
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2024-10-24
[ 韓國 ] - 半導體真空氣體管道焊接技术學習
禾悅科技前往韓國合作夥伴工廠學習半導體真空氣體管道焊接技术
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2025-01-11
[禾悅] - 客製化靜電吸盤
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2025-01-23
[禾悅] - 半導體靜電吸盤維修介紹
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2025-03-03
[ 韓國 ] - 2025 LAM ESC 生產品質溝通會
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AMAT TXZ HATER
AMAT Endura2 TXZ Heater 12"
2nd New or Repair¥ 0.00立即購買
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AMAT Ultima HDP ESC
AMAT Ultima 8" 12"
2nd New or Repair¥ 0.00立即購買
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AMAT MCA ESC
AMAT Endura2
OEN New or Repair¥ 0.00立即購買
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AMAT AIN Heater
AMAT Producer
2nd New or Repair¥ 0.00立即購買
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LAM Ceramics ESC
LAM 2300 KIYO / Flex / Flex EX / Excelan / Kiyo45 / KiyoEX / EX / FX
New Plate or Repair¥ 0.00立即購買
產品中心
PRODUCT CENTER
專業的檢測設備
傳承韓國企業的細心警慎 , 我司引進多項專業的檢測設備 , Temp Check / Leveling Tool / 3維度檢測平台 / Particle Tool / He leak check 測漏儀 等多項檢測儀器
禾悅科技有限公司,成立於2023年,是一家專注高溫加熱絲生產製造 , 2024年與在韓國經營二十餘年的企業合作並技術轉移於台灣工廠進行 ESC / HEATER 翻新業務 , 目前擁有多種 ESC / HEATER 翻新品庫存 , 目前翻新技術僅針對 AMAT MCA ESC Dimple Overhaul ( Only TiN / DLC ) , LAM CERAMICS ESC 目前可做 2300 ESC Plate Re-bonding ( Plate 目前由韓國技轉方生產 , 燒結設備陸續到位並且通過客戶驗證成功後將在台灣批量生產 ) , ESC Al2O3 Coating 於台灣進行 , 目前禾悅將持續開發研究提高產品可靠度 , 我們將會是您長期合作可靠的夥伴。
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